Hitachi KM11 olio-presio sentsore EX200-2-3-5-rako egokia

Presio sentsorearen lau presio teknologia

1. Kapazitiboa

Presio-sentsore kapazitiboek OEM aplikazio profesionalen kopuru handiek hobesten dute. Bi gainazalen arteko kapazitate-aldaketak detektatzeak sentsore hauek presio eta huts-maila oso baxuak hautemateko aukera ematen du. Gure sentsorearen konfigurazio tipikoan, karkasa trinko batek bi gainazal metaliko, paralelo eta elektrikoki isolatuak ditu, eta horietako bat presiopean apur bat tolestu daitekeen diafragma bat da. Irmo finkatuta dauden gainazal hauek (edo plakak) muntatzen dira muntaia tolesteak haien arteko tartea alda dezan (kondentsadore aldakorra osatuz benetan). Sortzen den aldaketa konparatzaile lineal sentikor batek (edo ASIC) duen zirkuitu batek detektatzen du, maila handiko seinale proportzionala handitu eta ateratzen duena.

2.CVD mota

lurrun-deposizio kimikoak (edo "CVD") fabrikazio-metodoak polisiliziozko geruza altzairu herdoilgaitzezko diafragmarekin lotzen du maila molekularrean, eta, horrela, epe luzerako noraeza errendimendu bikaina duen sentsorea sortzen du. Batch prozesatzeko erdieroaleen fabrikazio-metodo arruntak erabiltzen dira polisiliziozko tentsio-neurgailuko zubiak sortzeko, errendimendu bikainarekin, oso arrazoizko prezioan. CVD egiturak kostuen errendimendu bikaina du eta OEM aplikazioetan sentsorerik ezagunena da.

3. Sputtering film mota

Sputtering filmaren deposizioak (edo "filma") sentsore bat sor dezake linealtasun, histeresi eta errepikagarritasun konbinatu handienarekin. Zehaztasuna eskala osoaren % 0,08koa izan daiteke, eta epe luzerako noraeza, berriz, eskala osoaren % 0,06koa da urtero. Funtsezko tresnen errendimendu aparta: gure film mehe-sputtered sentsore presioa sentsorearen industrian altxor bat da.

4.MMS mota

Sentsore hauek silizio mikromekanizatua (MMS) diafragma erabiltzen dute presio aldaketak detektatzeko. Silizio-diafragma olioz betetako 316SS-ren bidez isolatzen da mediotik, eta seriean erreakzionatzen dute prozesuko fluidoaren presioarekin. MMS sentsoreak erdieroaleen fabrikazio teknologia arrunta hartzen du, tentsio handiko erresistentzia, linealtasun ona, shock termikoen errendimendu bikaina eta egonkortasuna sentsore pakete trinko batean lor ditzakeena.