Sentsore piezoresistive-ren egitura

Sentsore horretan, silikonazko diafragm monokristalino monokristalinoaren gainean integratzen da integrazio prozesuan silizio-pieza-txipa egiteko, eta txip honen periferia finkatuta dago maskorrean, eta elektrodoak eramaten dira. Piezesistive Pression Sensor, estatuko presio sentsore sentsore gisa ere ezaguna da, itsasgarri-neurgailuaren desberdina da, zeharkako indarra zeharka sentitu beharrizan sentikorraren bidez, baina zuzenean presioa neurtutako presioa sentitzen da silizio diafragmaren bidez.

Siliziozko diafragmaren alde bat presio handiko barrunbea da, presio neurtutakoarekin komunikatzeko, eta beste aldea presio baxuko barrunbea da atmosferarekin komunikatzeko. Orokorrean, siliziozko diafragma periferia finkoa duen zirkulu gisa diseinatuta dago eta lodierarako lodiera 20 ~ 60 ingurukoa da.

Gainera, siliziozko diafragma karratua eta silikonaren zutabe sentsorea ere badaude. Silicon Sentsore Zilindrikoa Zirrikitu erresistentziak ere hedatzen dira, silizio zilindroaren kristal plano baten norabidean, eta bi tentsio estresarekiko erresistentziak eta bi estresaren erresistentzia erresistentearen bi zerrendak zubi osoa osatzen dute.

Piezoresistive Sensor erdieroaleen materialaren substratuaren gaineko difusioarekiko erresistentziak egindako gailua da, material erdieroalearen eraginaren eraginez. Substratua neurketa sentsore gisa zuzenean erabil daiteke eta difusioarekiko erresistentzia substratuan konektatuta dago zubi moduan.

Substratua kanpoko indarrez deformatzen denean, erresistentzia-balioak aldatu egingo dira eta zubiak dagokion irteera desorekatua sortuko du. Sentsore piezoresistive gisa erabiltzen diren substratuak (edo diafragmak) silizioko ogiak eta germanium ogiak dira batez ere. Silikonazko sentsore sortzaileak silikonazko sorginkeriaz egindako sentsore sentsoreek material sentikorrak erakarri dituzte gero eta arreta handiagoa izan dutenak, batez ere presioa eta abiadura neurtzeko sentsore sendoak dituzten sentsore sendoak dira, gehien erabiltzen direnak.