Sentsore piezoresistiboaren egitura

Sentsore honetan, erresistentzia-banda silizio monokristalinoaren diafragman integratzen da integrazio-prozesuaren bidez, siliziozko txip piezoresistibo bat egiteko, eta txip honen periferia oskolean finkoki bilduta dago eta elektrodoen kableak kanpora ateratzen dira. Presio-sentsore piezorresistiboa, egoera solidoko presio-sentsore bezala ere ezaguna, itsasgarriaren tentsio-neurgailuaren desberdina da, zeinak kanpoko indarra elementu sentikor elastikoen bidez zeharka sentitu behar baitu, baina zuzenean neurtutako presioa silizio-diafragmaren bidez sentitzen du.

Silizio-diafragmaren alde bat presio handiko barrunbe bat da, neurtutako presioarekin komunikatzen dena, eta beste aldea atmosferarekin komunikatzen den presio baxuko barrunbe bat da. Orokorrean, silizio-diafragma zirkulu gisa diseinatuta dago periferia finkoarekin, eta diametroaren eta lodieraren arteko erlazioa 20 ~ 60 ingurukoa da. Lau P ezpurutasun-erresistentzia-zerrenda lokalean hedatzen dira silizio-diafragma zirkularrean eta zubi oso batean konektatzen dira, horietako bi. konpresio-esfortzuaren eremuan daude eta beste biak trakzio-esfortzuaren eremuan daude, diafragmaren zentroarekiko simetrikoak.

Horrez gain, silizio-diafragma karratua eta silizio zutabe-sentsore ere badaude. Siliziozko sentsore zilindrikoa siliziozko zilindroaren kristal-plano baten norabide jakin batean difusioz egindako zerrenda erresistenteez ere egiten da, eta bi trakzio-tentsio-erresistentzia-zerrenda eta bi konpresio-tentsio-erresistentzia zerrendak zubi osoa osatzen dute.

Sentsore piezoresistiboa material erdieroalearen substratuan difusio-erresistentziaz egindako gailua da, material erdieroalearen efektu piezoresistiboaren arabera. Bere substratua zuzenean neurtzeko sentsore gisa erabil daiteke, eta difusio-erresistentzia substratuan konektatzen da zubi moduan.

Substratua kanpoko indarraren ondorioz deformatzen denean, erresistentzia-balioak aldatu egingo dira eta zubiak dagokion irteera desorekatua sortuko du. Sentsore piezoresistibo gisa erabiltzen diren substratuak (edo diafragmak) siliziozko obleak eta germanio obleak dira batez ere. Material sentikor gisa siliziozko obleekin egindako siliziozko piezoresistibo sentsoreek gero eta arreta gehiago erakarri dute, batez ere presioa eta abiadura neurtzeko egoera solidoko sentsore piezoresistiboak dira gehien erabiltzen direnak.