Passat fuel rail common rail presio sentsoreari dagokio 06E906051K

1. Presio-sentsore bat osatzeko metodoa, honako hauek barne hartzen dituena:

Substratu erdieroale bat hornitzea, non lehen geruzen arteko geruza dielektriko bat, lehen geruza arteko geruza dielektriko bat eta bigarren geruza arteko geruza dielektriko bat eratzen diren substratu erdieroalean.

Beheko elektrodo-plaka bat geruzen arteko lehen geruza dielektrikoan, elkarrekiko lehenengo elektrodo bat beheko elektrodo-plakaren geruza berean kokatuta eta alde batera utzita.

Lotura geruzak;

Beheko plaka polarraren gainean sakrifizio-geruza bat osatuz;

Goiko elektrodo-plaka bat osatzea geruza arteko lehen geruza dielektrikoan, lehen interkonexio-geruzan eta sakrifizio-geruza;

Sakrifizio-geruza eratu ondoren eta goiko plaka osatu aurretik, lehenengo interkonexio-geruzan

Konexio-zirrikitu bat osatuz, eta konexio-arteka goiko plakaz betetzea lehenengo interkonexio-geruzarekin elektrikoki konektatzeko; Edo,

Goiko elektrodo-plaka eratu ondoren, konektatzeko zirrikituak sortzen dira goiko elektrodo-plakan eta lehenengo interkonexio-geruzan.

Goiko elektrodo-plaka eta lehenengo interkonexio-geruza lotzen dituen geruza eroale bat eratzea konexio-zuloan;

Goiko plaka eta lehenengo interkonexio-geruza elektrikoki konektatu ondoren, sakrifizio-geruza kenduz barrunbe bat osatzeko.

2. Presio-sentsore bat osatzeko 1. erreklamazioaren arabera, lehenengo geruza dagoena

Sakrifizio-geruza osatzeko geruzen arteko geruza dielektrikoaren metodoak urrats hauek ditu:

Sakrifiziozko material geruza bat jartzea lehen geruza arteko geruza dielektrikoan;

Sakrifiziozko material geruza eredua sakrifizio geruza bat osatzeko.

3. 2. erreklamazioaren arabera presio-sentsorea osatzeko metodoa, non fotolitografia eta grabatua erabiltzen diren.

Sakrifiziozko material geruza grabaketa-prozesuaren bidez moldatzen da.

4. 3. erreklamazioaren arabera presio sentsore bat osatzeko metodoa, sakrifizio-geruza duena

Materiala karbono amorfoa edo germanioa da.

5. Presio-sentsore bat osatzeko metodoa 4. erreklamazioaren arabera, sakrifizio-geruza duena

Materiala karbono amorfoa da;

Sakrifiziozko material geruza grabatzeko prozesuan erabiltzen diren akuaforte gasak O2, CO, N2 eta Ar dira;

Material sakrifizio-geruza grabatzeko prozesuan parametroak hauek dira: O2-ren fluxua 18 SCCM ~ 22 SCCM da, eta COaren emaria % 10 da.

Emaria 90 SCCM-tik 110 SCCM bitartekoa da, N2-ren emaria 90 SCCM-tik 110 SCCM bitartekoa eta Ar-ren emaria.

Tartea 90 SCCM ~ 110 SCCM da, presio tartea 90 mtor ~ 110 mtor da eta alborapenaren potentzia da.

540W~660W.