Aplikatu Passat erregaiaren trenbide presio arruntaren 06e906051k

1. Presio-sentsorea eratzeko metodoa:

Substratu erdieroale bat eskaintzea, non interlayer geruza dielektriko bat, lehen geruza dielektriko bat eta bigarren geruza dielektrikoko geruza dielektriko bat osatzen dute substratu erdieroalearen gainean.

Elektrodoen plaka txikiagoa da interlayer geruza dielektrikoan, geruza berean kokatutako lehen elektrodoa, beheko elektrodoaren plaka gisa eta banatuta.

Geruzak konektatzea;

Beheko plakaren gainetik sakrifizio geruza eratuz;

Goiko elektrodo platera eratuz, lehenengo interlayer geruza dielektrikoan, lehenengo konexio geruza eta sakrifizio geruza;

Geruza sakrifikatua osatu ondoren eta goiko plaka osatu aurretik, lehenengo interkonexio geruzan

Konexio zirrikitu bat eratuz eta konexioaren zirrikitua goiko plakarekin betetzea lehenengo interkonexio geruzarekin konektatzeko; Edo,

Goiko elektrodoen plaka osatu ondoren, zirrikituak konektatzea goiko elektrodoen plakan eta lehenengo konexio geruza, zein da

Geruza eroalea eratuz goiko elektrodoen plaka eta konexio-zirrikituaren lehenengo konexio geruza konektatuz;

Goiko plaka eta lehen konexio geruza elektrikoki konektatu ondoren, sakrifizio geruza kendu, barrunbe bat osatzeko.

2. Presio-sentsorea eratzeko metodoa 1. erreklamazioaren arabera, non lehen geruzan

Geruza Dielektrikoan sakrifizio geruza eratzeko metodoa urrats hauei dago:

Material geruza sakrifikatzaile bat gordetzea lehen interlayer geruza dielektrikoan;

Patterratu material sakrifikatzaile geruza sakrifizio geruza bat osatzeko.

3. Presio-sentsorea 2. erreklamazioaren arabera eratzeko metodoa, non fotolitografia eta grabatua erabiltzen dira.

Material sakrifizioaren geruza grabaketa prozesuaren bidez eredu da.

4. Presio-sentsorea osatzeko metodoa 3. erreklamazioaren arabera, non sakrifizio geruza

Materiala karbono amorfoa edo germanioa da.

5. Presio-sentsorea osatzeko metodoa 4. erreklamazioaren arabera, non sakrifizio geruza

Materiala karbono amorfoa da;

Materialen geruza sakrifikatuan grabatzeko prozesuan erabilitako gasak, O2, CO, N2 eta AR;

Materialen geruza sakrifikatzailearen etiketa prozesuan parametroak hauek dira: O2 fluxuaren tartea 18 SCCM ~ 22 SCCM da, eta CO-ren fluxu-tasa% 10 da.

Fluxu-tasa 90 SCCM-tik 110 SCCM-ra bitartekoak dira, N2ko fluxuaren tasa 90 SCCM-tik 110 SCCM-ra bitartekoa da eta Ar ren fluxua.

Barrutia 90 SCCM ~ 110 SCCM da, presio-tartea 90 mtor ~ 110 mtor da, eta BIAS boterea da

540w ~ 660w.