Motorraren presio sentsorea 2CP3-68 1946725 Carter hondeamakinarentzat

Presio-sentsore bat prestatzeko metodoa, honako urrats hauek dituena:

S1, atzealdeko gainazal eta aurrealdeko gainazal batekin ostia bat eskainiz; Oblearen aurrealdeko gainazalean banda piezoresistibo bat eta oso dopatuta dagoen kontaktu-eremua osatzea; Presio sakoneko barrunbe bat osatzea oblearen atzeko gainazala grabatuz;

S2, oblearen atzealdean euskarri-xafla bat lotzea;

S3, berunezko zuloak eta metalezko hariak fabrikatzen ditu oblearen aurrealdean, eta zerrenda piezoresistiboak lotzen ditu Wheatstone zubi bat osatzeko;

S4, oblearen aurreko gainazalean pasibazio-geruza bat jarriz eta eratuz, eta pasibazio-geruzaren zati bat irekitzen du metalezko pad eremu bat osatzeko. 2. Presio-sentsorearen fabrikazio-metodoa 1. erreibindikazioaren arabera, non S1-ek, zehazki, honako urrats hauek barne hartzen dituena: S11: atzealdeko gainazal bat eta aurreko gainazal bat duen oblea hornitzea, eta oblean presio-sentikorreko film baten lodiera definitzea; S12: oblearen aurreko gainazalean ioi-inplantazioa erabiltzen da, banda piezoresistiboak tenperatura altuko difusio-prozesu baten bidez fabrikatzen dira eta ukipen-eskualdeak asko dopatzen dira; S13: oblearen aurreko gainazalean babes-geruza bat jartzea eta osatzea; S14: oblearen atzealdean presio sakoneko barrunbe bat grabatzea eta osatzea presio sentikorreko film bat osatzeko. 3. Presio-sentsorearen fabrikazio-metodoa 1. erreklamazioaren arabera, non ostia SOI den.

1962an, Tufte et al. presio-sentsore piezoresistibo bat fabrikatu zuen lehen aldiz silizio-zerrenda piezoresistibo hedatuekin eta silizio-filmaren egiturarekin, eta presio-sentsore piezoresistiboari buruzko ikerketari ekin zion. 1960ko hamarkadaren amaieran eta 1970eko hamarkadaren hasieran, hiru teknologiaren agerpenak, hots, silizio anisotropiko grabaketa-teknologia, ioien inplantazio-teknologia eta lotura anodikoen teknologia, aldaketa handiak ekarri zituen presio-sentsorean, eta horrek paper garrantzitsua izan zuen presio-sentsorearen errendimendua hobetzeko. . 1980ko hamarkadaz geroztik, mikromekanizazio-teknologiaren garapenarekin, hala nola grabatu anisotropikoa, litografia, difusio-dopina, ioien inplantazioa, lotura eta estaldura, presio-sentsorearen tamaina etengabe murriztu da, sentsibilitatea hobetu da eta irteera handia da. errendimendua bikaina da. Aldi berean, mikromekanizazio teknologia berriaren garapenak eta aplikazioak presio sentsorearen filmaren lodiera zehaztasunez kontrolatzen du.